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    半導體行業有機廢氣毒氣凈化處理設備廠家

    2021-03-16

    對于半導體行業有機廢氣及有毒氣體的治理,廢氣處理廠家嘗試采用低溫等離子廢氣處理技術,與以往的處理技術相比,處理效果有所提高。

    在污染較重的情況下,半導體企業大量使用有機物質。主要有半導體工業中的有機廢氣,可分為由半導體制造過程和半導體封裝過程所產生的有機廢氣。

    一、廠家對有機廢氣和有毒氣體的處理方法。

    目前國內對有機廢氣和有毒氣體的治理技術基本相同,所以,對這兩種廢氣的治理技術,我們將合并討論。

    目前,半導體制造過程中排放的廢氣中含有有機成分(voc),通常通過直接焚燒,活性炭吸附,生物氧化等方法處理。但是三種方法都有一些缺點:

    1.高風量低濃度有機廢氣的直接焚燒會產生大量的油耗和不必要的污染,建議直接焚燒的只有高風量有機廢氣,半導體制造的有機廢氣的排放具有濃度低、風量大的特點,因此一定要考慮將有機廢氣濃縮后再進行焚燒處理。

    2.活化碳吸附法,由于其材料性質,存在燃燒快,水分敏感性高,脫附后殘余負荷高等缺點,在半導體工業中已基本停止使用。

    3.生物氧化技術作為一種較新的處理技術,在大風量的處理上還需要做更多的研究與開發工作。

    二、針對半導體工業有機廢氣及有毒氣體的治理,低溫等離子性廢氣凈化技術的基本原理如下:

    1.把普通220V/380V交流電通過變壓器、變頻器,轉換成高頻高壓,產生足以擊穿氣體的電壓,釋放出高能電子,這種電子會打破有機廢氣中的氣體分子間的化學鍵,使其斷開連接,從而產生各種碳原子、氧原子、氫原子、氫原子、氫氧自由基、臭氧等混合物,在等離子體中,氧原子與碳原子結合,形成水分子,然后生成二氧化碳(CO2)和水(H2O)等排放到大氣中的氣體。

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    三、低溫等離子廢氣處理工藝具有如下優點:

    1.在放電產生的低溫等離子體中,電子能很高,能與幾乎所有臭氣分子起作用。

    2.反應速度快,無受氣速度限制。

    3.使用抗腐蝕材料;

    4.僅需電力供應,操作非常簡單。

    5.儀器起動、停很快,隨用隨開,常溫常壓下即可使用。

    6.氣阻小,適用于處理風量大的廢氣。

    四、低溫等離子廢氣處理技術可以對下列半導體企業的廢氣進行治理:

    ? 集成電路生產企業:主要包括數字集成電路板及模擬集成電路板生產企業

    ? 分立器件生產企業:主要包括晶體二極管、三極管,整流二極管,功率二極管、化合物二極管等生產制造企業

    ? 光電組件生產企業:包括LED、OLED、LCD、光伏太陽能等的生產制造企業。




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